二次資源利用讓難熔金屬“熔爐中重生” 打破國外壟斷

。”該項(xiàng)目組負(fù)責(zé)人北京理工大學(xué)教授譚成文說。

歷經(jīng)約10年努力，項(xiàng)目組研發(fā)出高純WF6

、超高純鎢靶材、離子注入機(jī)用高純鎢部件、高性能鎢加熱體、高純異型鎢坩堝等系列高端產(chǎn)品。

譚成文說，其中

，高純WF6純度達(dá)99.999%，滿足了半導(dǎo)體行業(yè)對于特種氣體的高純度要求，在英特爾、東芝、臺積電、中芯國際等國內(nèi)外知名半導(dǎo)體企業(yè)獲得廣泛應(yīng)用，國內(nèi)市場占有率80%，國際市場占有率近25%，僅3年時間即實(shí)現(xiàn)單一產(chǎn)品年產(chǎn)值過億元，利潤率大于20%。隨著技術(shù)不斷改進(jìn)，產(chǎn)品在相關(guān)企業(yè)的用量大幅提高，打破國外壟斷。超高純鎢靶材、離子注入機(jī)用高純鎢部件、鎢加熱體