迄今最小加速傳感器問世 相關(guān)論文發(fā)表在《自然·電子學(xué)》上

，我們發(fā)明了一種壓阻式NEMS加速傳感器，比目前任何可用的MEMS加速傳感器都要小得多。盡管小，但無損其靈敏度。”

這種小型加速傳感器未來有望應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域

。范旭格說：“最終有望應(yīng)用于手機(jī)導(dǎo)航、手機(jī)游戲和計(jì)步器、心臟病監(jiān)測系統(tǒng)和可以監(jiān)測人體運(yùn)動的運(yùn)動捕捉可穿戴設(shè)備。”

研究人員稱

，這些NEMS傳感器的其他潛在用途還包括超小型NEMS傳感器和執(zhí)行器，如諧振器、陀螺儀和麥克風(fēng)等。此外，這些NEMS傳感器也可以作為一個(gè)系統(tǒng)，用來表征石墨烯的機(jī)械和機(jī)電性能。

總編輯圈點(diǎn)

第一批正式的微機(jī)電設(shè)備，在上世紀(jì)六十年代就誕生了

，但直到上世紀(jì)末至本世紀(jì)初，納米機(jī)電系統(tǒng)的概念才被提出。比較而言，微機(jī)電系統(tǒng)的體積已比一般日常生活中的機(jī)械系統(tǒng)小得多了，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越了“機(jī)”和“電”的概念。但科學(xué)家們?nèi)匀豢释麑⑵涑叽缈s成納米尺度，一個(gè)重要的原因是納米結(jié)構(gòu)會導(dǎo)致種種新效應(yīng)，能提供微機(jī)電設(shè)備所無法企及的特性和功能。這里既包括實(shí)際應(yīng)用中的超高頻率、低能耗、高靈敏度，也包括在理論研究中，對微小的力和位移的“掌握”，以及對表面質(zhì)量和吸附性的“控制”。