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江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司“鍍膜設(shè)備”專利公布

2025-08-01 16:55:33來源：經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)

(資料圖片)

經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)天眼查APP顯示，近日

，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司申請的“鍍膜設(shè)備”專利公布

。

摘要顯示

，本申請公開了一種鍍膜設(shè)備

。鍍膜設(shè)備包括工藝管、底座

、載具和線圈

。底座設(shè)置于工藝管內(nèi)，底座為導(dǎo)體

。載具放置于底座上，用于承載基片

，載具為導(dǎo)體。線圈繞設(shè)于工藝管外周

。其中

，線圈用于通入交變電流產(chǎn)生交變磁場

，底座和在于用于在交變磁場作用下產(chǎn)生渦流，以對基片進(jìn)行加熱

。通過上述方式，本申請能夠提高鍍膜設(shè)備的加熱效率

。

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責(zé)任編輯：孫知兵

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