精測(cè)電子 子公司增資引入新股東

◎記者李興彩○編輯姚炯

在12英寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量設(shè)備(OCD)

、12英寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備(Review SEM)進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段后，精測(cè)電子（300567）開(kāi)啟了在半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域的新布局，瞄準(zhǔn)了明場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備。

2月12日，精測(cè)電子發(fā)布關(guān)于控股子公司增資暨關(guān)聯(lián)交易公告

，公司控股子公司上海精積微擬引入新的投資者上海裝備投、張江燧鋒、浦東海望、海寧精海、上海精望、公司實(shí)控人彭騫，新的投資者與原股東上海精測(cè)擬分別向上海精積微出資2500萬(wàn)元、2500萬(wàn)元、2500萬(wàn)元、5000萬(wàn)元、1億元、5000萬(wàn)元、2500萬(wàn)元，合計(jì)3億元。本次增資完成后，上海精測(cè)持有上海精積微的股權(quán)比例由100%變更為21.43%？苿?chuàng)中心一期股權(quán)投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)等；浦東海望的合伙人包括上海浦東科技創(chuàng)新投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)、浙江韋爾股權(quán)投資有限公司等，韋爾股份（603501）100%持有浙江韋爾股權(quán)投資有限公司。

這些資金為什么看好上海精積微？精測(cè)電子披露

，上海精積微現(xiàn)階段主要聚焦明場(chǎng)晶圓有圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品的研究開(kāi)發(fā)以及生產(chǎn)制造等。

記者了解到

，在圖形晶圓光學(xué)明場(chǎng)缺陷檢測(cè)領(lǐng)域，KLA-TENCOR(科天)等長(zhǎng)期壟斷全球市場(chǎng)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在該領(lǐng)域幾乎處于空白階段。

精測(cè)電子表示

，此次增資公司放棄部分優(yōu)先認(rèn)購(gòu)權(quán)引入不同的戰(zhàn)略合作方，有利于上海精積微獲得充裕資金，以開(kāi)展半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域相關(guān)設(shè)備的研發(fā)及產(chǎn)品化，有利于上海精積微下一階段的良性發(fā)展。

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